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主题:如果要在DECAN L2中安装Side Tray Feeder,应对DECAN L2的一部分进行改造。改造后必须进行校准(Calibration)。 (更换BUT上板, 改造Conveyor出口端, 更改ANC的组1 n; ~2 L& d7 i+ F# ?* o5 O* f8 H
装位置)
/ t4 f: } g" [
) E8 g/ \% d$ D, [8 ~! g对象: DECAN L2 (可安装的型号: STF-100S)8 Q6 R- c0 b9 U4 m$ j* M0 p
& X3 u, |5 P* _/ {/ O4 U i( H改装步骤:
4 i! S) q9 {, d, T, d& E1. 更换BUT上板后,将其移动到更换了传感器DOG的BUT后进行组装
+ ]6 M- k. S. G. u7 @; M/ V- v; e8 P1 w6 P
2. 对Conveyor出口部分进行改造, i* a8 j. p' g% T
3. 更改ANC组装位置(移动到Stage Camera前方后进行组装)
* q& r1 `2 g+ J; [5 Z1 @2 O0 ]4. 执行有关Conveyor的Calibration
( _+ e* @7 l: D% b3 T2 { Common XY Calibration. ] l2 Y& h) O" v
 Conveyor Calibration) {' U, w% @9 t! {0 P0 a# k+ J8 |
 Gantry Thermal Mapping& Z) q' q0 Z$ P, X7 y
 Gantry Mapping
3 U2 L4 H4 M6 ~5. 执行有关ANC的Calibration
$ c' F# B) H7 y- I+ M7 h. J- G( s- j ANC Pos. Scan0 [# G( Q* p8 Z: _7 G5 I6 |
 Fiducial Camera Scale' X$ a" s/ c& C9 A/ o0 j+ C
 Camera Offset
5 X- {7 G {4 s) _ Head Z / R Offset Calibration; }4 c5 a3 _3 }1 @. W& f
 Head Offset Calibration
9 [7 H1 o1 g3 k1 G1 K* I Fly Camera Scale Calibration8 M: d0 T: p5 ]% D f7 M
 Fly Camera Offset Calibration
+ n& ^8 _ }: I. |. _ Fly to Fix Camera & Fly Runout Offset Calibration0 x: ?( i$ y: u! n3 d
 R-Axis Offset Calibration
; b6 I, E" t' ~& d# Z- o
0 R. u6 `4 v4 v1 T3 M& s" |' t
4 O X. H. u0 _, T4 X' o+ m9 f |
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