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主题:如果要在DECAN L2中安装Side Tray Feeder,应对DECAN L2的一部分进行改造。改造后必须进行校准(Calibration)。 (更换BUT上板, 改造Conveyor出口端, 更改ANC的组
4 S8 H3 s5 p% ~/ b. y装位置)* `1 N: g0 J" i6 M; K# j
% [4 {# `: o9 v' W) M# b' _
对象: DECAN L2 (可安装的型号: STF-100S)/ l* a5 j) u. ^/ n' q$ o+ B3 c
/ x, ^! j- Q/ m3 T' V' f改装步骤:) y) R$ G) }# v" X0 ]
1. 更换BUT上板后,将其移动到更换了传感器DOG的BUT后进行组装/ ]& @$ p) Z7 V0 o
& f) j' f. N( z6 ~' k P+ w' t2. 对Conveyor出口部分进行改造
/ k N9 U* Y1 x7 U2 a% L! c3. 更改ANC组装位置(移动到Stage Camera前方后进行组装)4 @/ r- z, R ^: ~4 W7 {, f; p/ p
4. 执行有关Conveyor的Calibration% @- E- \: S- Z0 o, R
 Common XY Calibration
$ v& u# N) a% s8 Q7 q& K2 l1 ~5 ] Conveyor Calibration; K7 r; N0 a d9 D" z6 f
 Gantry Thermal Mapping
, J9 y( _6 s6 m/ J5 H Gantry Mapping; ~8 l2 m6 Q- f9 d& {
5. 执行有关ANC的Calibration
; N* _) t. f+ C/ I. N/ E ANC Pos. Scan
& T( v1 }8 e H3 U Fiducial Camera Scale
* f- `. {& K: K; L Camera Offset- g2 I- m& m9 v5 P0 ]% n% D- g7 Q0 n
 Head Z / R Offset Calibration
, s: K+ I: p( u+ L/ c9 N Head Offset Calibration/ M! `) a) ?2 ?( L9 C# z
 Fly Camera Scale Calibration
7 e8 ~! k2 Z2 ~# o! ] Fly Camera Offset Calibration `7 _0 E# C2 I9 L( q m
 Fly to Fix Camera & Fly Runout Offset Calibration7 |* Q1 h+ F d3 A" c! X. f+ u
 R-Axis Offset Calibration
' n3 A3 n( m* L: F; s) M
+ f# W+ E) ]+ h- O/ y
' h. H+ r/ X7 y% S0 k6 Q1 n |
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