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主题:如果要在DECAN L2中安装Side Tray Feeder,应对DECAN L2的一部分进行改造。改造后必须进行校准(Calibration)。 (更换BUT上板, 改造Conveyor出口端, 更改ANC的组
0 W( J0 e; ~2 \- f4 k7 b9 x装位置)$ p8 c& x0 S5 W) n
3 D6 i2 a! ` }- p0 X
对象: DECAN L2 (可安装的型号: STF-100S)$ o( C) N9 {1 _) p) ]& R/ A
% H; u+ V. m/ F' A
改装步骤:
# o1 y2 @% b J9 c U+ I. K1. 更换BUT上板后,将其移动到更换了传感器DOG的BUT后进行组装9 a7 V$ _ b- Q ]5 m3 F3 }
3 U- |+ k, g w; Y' S+ {2. 对Conveyor出口部分进行改造
* x7 o7 b2 D6 U! j( s" [' z3. 更改ANC组装位置(移动到Stage Camera前方后进行组装)7 X H! h5 p( {2 m
4. 执行有关Conveyor的Calibration% u3 g! d) M* j5 `; V- M. d; p
 Common XY Calibration, D# n- i- n7 c7 ]
 Conveyor Calibration
! c8 ~+ `+ h% A7 X2 l) h Gantry Thermal Mapping
, B1 N: w! O }( k Gantry Mapping
: k0 W g. s9 b- |5. 执行有关ANC的Calibration
. v1 _8 D0 ~9 n, L! y8 M0 p ANC Pos. Scan1 i- B: m; I( x; k" G
 Fiducial Camera Scale
, j1 P* H! f t& |# P& \/ M$ [ Camera Offset
$ S/ D3 L- a' S9 M) B/ _4 ` Head Z / R Offset Calibration
; n. i% O) m2 q& s Head Offset Calibration. Z% c( F+ R) I5 ?- Q5 U8 }
 Fly Camera Scale Calibration
& \, q b5 s4 I Fly Camera Offset Calibration
' w3 p9 P) d0 m0 J7 P9 J Fly to Fix Camera & Fly Runout Offset Calibration
7 g9 ]% g! Y" u- V% j R-Axis Offset Calibration
; I) C% `' c- {8 x( c$ |, ~/ K9 t8 w) T5 {% A% ?3 P% J6 J
5 q+ z1 @- I' m- H! h. o0 R, H |
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