ESD 防靜电手册20.20标准文件

章節號	標題
1.0	目的
2.0	範圍
3.0	公司ESD架構圖/職責/任命書
3.1	ESD總負責人職責
3.2	ESD小組成員職責
3.3	採購部職責
3.4	生產部職責
3.5	PE部職責
4.0	ESD概要
5.0	本公司的靜電敏感器件列表
6.0	靜電防護區域（EAP）的蜀定和標識
6.1	EAP劃分
6.2	EPA靜電控制措施
6.3	EAP標識
6.4	防靜電性能標準
7.0	靜電敏感區域的工程環境防靜電規範
7.1	防靜電工程環境的要求
7.2	地面的技術要求
7.3	防靜電保護接地的要求
8.0	靜電敏感區域的人員防靜電規範
8.1	各類人員的防靜電知識培訓要求及職責
8.2	人體靜電防護系統
8.3	臨時或外來人員的防靜電管理
9.0	靜電敏感區域的防靜電操作規範
10.0	靜電敏感區域的工作臺、工裝、設備以及防靜電器材的防靜電規範

1   目的

規定ESDS20.20-2007防靜電控制技術規範，為產品在元器件進料、製造、貯存、包裝等各個環節提供明確可靠的ESD技術支援，從整體上提高公司靜電防護和控制水準，提高客戶的滿意度。

2   範圍

本規範適用於公司內部靜電防護工程的設計、使用、管理、維護和檢測。同時，此標準也適用於公司的電子設備的最終用戶的靜電放電控制。

3    公司ESD組織結構和職責

任  命  書

本公司依據ESDS20.20:2007防靜電管理體系要求建立的，為確保公司防靜電管理體系有效地建立、健全、運行和保持，特任命  XX先生為ESD總負責人，全面負責ESD體系的建立、實施、保持、改進，並負責與ESD體系有關的內外部各方的聯繫協調工作。

執行董事：XX先生

XX年XX月XX日

1.1  ESD總負責人

確保職責和許可權被明確定義並得到充分溝通，以保證公司ESD體系有效運行。

1.2  ESD小組成員：

1.2.1     制定ESD程式檔、檢測標準、和檢測專案和檢測頻率。

1.2.2     建立ESD培訓制度，包括每年的週期性培訓。

1.2.3     制定ESD稽核專案、稽核頻率並指定稽核人員。

1.2.4     抽樣檢查公司ESD日常執行情況。

1.2.5     ESD相關的計量儀器定期校驗。

1.2.6     ESD基礎設施的建立。

1.2.7     各靜電防護區域靜電防護線網的維護和檢測。

1.2.8     溫度和濕度的管控。

1.1.1     對新進廠的職員工進行防靜電知識的培訓。

1.2  採購部：

1.2.1     按要求購置防靜電物品。

1.2.2      需要時取得防靜電物品的防靜電證書。

1.3  生產部：

1.3.1     執行防靜電措施。

1.3.2     部門防靜電知識的宣導與培訓。

1.3.3     部門防靜電專案的檢查。

1.4  PE部：

1.4.1     負責對SMT車間的靜電裝置、接地裝置防靜電專案的檢查。

1.4.2     負責對各種感元件識別要求標準並通知相關部門；

1.4.3     負責對防靜電區域儀器監管

1.4.4     部門培訓靜電知識；

2    ESD概要

本文主要從靜電控制的五個方面(即人員、設備、物料、方法和環境)來論述ESD 規範，貫穿了公司產品設計、製造、貯存、包裝等各個環節防靜電控制，詳細介紹了防靜電設施的技術要求、檢測方法和作業指導等內容。

2.1   定義

2.1.1      ESD：Electro-Static Discharge 靜電釋放。

1.1.1     抗靜電材料：同種材料或類似材料相互摩擦，幾乎不產生靜電荷的材料。

1.1.2     導靜電材料：材料表面電阻率每平方米小於105Ω的材料。

1.1.3     靜電消散性材料：表面電阻率介於每平方米105Ω與1012Ω之間的材料。

1.1.4     絕緣材料：表面電阻率每平方米大於等於1012Ω的材料。

1.1.5     表面電阻率：每平方米材料表面兩個電極間的電阻。

1.1.6     靜電敏感器件：指IC類與電晶體（二極體）類電子元件。

1.1.7     靜電敏感區：指生產區域、存儲區域、檢驗區域。

1.1.8     非靜電敏感區：指除了靜電敏感區以外的所有區域,其中包括部分在靜電敏感區中劃分的非靜電敏感區.

1.1.9   防靜電工作區：配備各種防靜電設備和器材、能限制靜電電位、具有確定邊界和專門標記的適於從事靜電防護操作的場所。

1.1.10 接地：電子連接到能供給或接受大量電荷的物體（如大地、艦船或運載工具外殼等）。

1.1.11 硬接地：直接與大地電極作導電性連接的一種接地方式。

1.1.12 軟接地：通過一足以限制流過人體的電流達到安全值的電阻連接到大地電極的一種接地方式。

文件編號：ESD-001	手冊版本﹕1.0	章  節: 1.0
文件名稱：ESD防靜電手冊	章節版本﹕1.0	頁  數: 7  OF 28

1.1.13 大地電極：埋於地下與大地保持良好的電氣連接的金屬體或金屬體組。它可以是杆狀的、板狀的或網狀的，為接地系統提供接大地的基準點。

1.1.14 高靜電材料：容易產生靜電及累積靜電的材料，例如：普通紙張、普通塑膠袋、塑膠筆等。

2   本公司的靜電敏感器件列表

2.1  本公司的靜電敏感器件列表

表1  靜電敏感器件列表

序號	型號	抗靜電值(Volts)
1	MOSFET（貼片式場效應管）	100-200
2	SAW(濾波器)	150-500
3	JFET	140-7200
4	CMOS(電腦用晶片)	250-3000
5	JFET(J結型場效應管)	140-700
6	雙極性電晶體	380-7000
7	肖特基二極體	300-3000
8	運算放大器	190-2500
9	膜片電阻（厚、薄）	300-3000
10	綁定IC	暫缺
11	LED	暫缺

3   靜電防護區域（EPA）的界定和標識

3.1  EPA劃分

文件編號：ESD-001	手冊版本﹕1.0	章  節: 1.0
文件名稱：ESD防靜電手冊	章節版本﹕1.0	頁  數:8OF  28

3.1.1    EPA必須具有如下的基本環境要求：

3.1.1.1  明確的區域界限和防靜電警示標

3.1.1.2  對區域內的所有導體包括人員可靠接地

3.1.1.3  消除一切不必要的靜電產生源。

3.1.1.4  靜電敏感器件必須離靜電源大於30釐米處。

3.1.2    根據本公司產品器件的靜電敏感度等級，將本公司靜電敏感度等級防範要求為100V。防護要求為：（我們公司的敏感等級）

3.1.2.1  靜電敏感度等級防範要求為100V，應儘量避免產生100V以上的靜電電荷源，如不能避免，應通過有效方式消除。

3.1.2.2  採用防靜電標識與其他區域分隔開，未採取有效防靜電措施的人員、設備、物料、工具等皆不得入內。

3.1.2.3  進入本區域應作好人員防靜電要求，包括防靜電服、防靜電帽和防靜電鞋，並做人體綜合電阻測試合格後才能進入。對於配備靜電手環的崗位，還要做腕帶檢測，檢測合格，表示該腕帶可以使用。

3.2  EPA靜電控制措施（控制措施按照表2實施）：

3.2.1    表2  EPA靜電控制措施要求

ESD控制措施	要求
靜電電壓控制標準	小於100V
防靜電標識	要求
防靜電地板	要求
防靜電桌墊	要求
防靜電腕帶	可選
防靜電工作手套、指套	要求
防靜電工作服	要求
防靜電帽	要求
防靜電工作鞋	要求
防靜電工作椅	要求
防靜電周轉工具	要求
防靜電包裝材料	要求
防靜電烙鐵	要求
防靜電吸錫器	要求
裝配、調試及輔助工具防靜電	要求
靜電產生材料禁止帶入EPA	要求
人體電阻測試儀(帶腕帶測試儀)	要求
區域封閉性	可選
出入口控制	可選
靜電電壓表	可選
兆歐表	可選
接地系統監控儀	可選
離子風靜電消除器	可選
離子風機靜電消除器測試儀	可選
防靜電液	可選
非防靜電包裝的拆包	區域外操作或獨立工位操作
辦公區	區域外或獨立工區

3.3  EPA標識

防靜電工作區、防靜電包裝材料和轉運工具、設備儀器、防靜電接地系的接地等都應該具有防靜電標識。防靜電標識的作用是警示任何靠近防靜電工作區的人員，區域記憶體在靜電敏感器件的操作；警示任何接觸靜

電敏感器件的人員，對該器件的操作必須進行靜電防護。

3.3.1    靜電標識上應注意說明如“注意：靜電安全工作區“或其同意語。“放電”，“注意”，“危險”等標示對靜電控制是不合適的。

3.3.2    EPA 標識所在的位置及其大小應該至少保證在距離工作區1 米時清晰可見。

3.3.3    在邊界線內貼靜電敏感區的區域界限標識（如圖A）,其寬度為 4～5cm。

3.3.4    需要在靜電安全工作區的每一個入口和出口放置防靜電標識牌和控制說明。

3.3.5    防靜電器材、工具和靜電敏感物料都必須具有明顯的防靜電標識，

3.3.6    防靜電容器（防靜電周轉箱，防靜電元件盒等），元件架和運輸車等器材上應有防靜電標誌，其標誌應置於明顯且不易受到磨損的地方。如圖B，

3.4.1    防靜電性能標準 表33.4  防靜電性能標準

項目	要求限定	檢測頻率	檢驗比例	檢測人員
防靜電服	< 1 x 1011歐姆	新購	每批5%	IQC
		每月	20件	ESD Group
防靜電帽	< 1 x 1011歐姆	新購	每批5%	IQC
		每月	20個	ESD Group
防靜電鞋	< 3.5 x 107歐姆	新購	每批5%	IQC
		每月	20個	ESD Group
防靜電手套/手指套	< 1 x 1011歐姆	新購	每批5%	IQC
放靜電地板	< 1 x 109歐姆	新安裝	100%	ESD Group
		清潔後	100%	ESD Group
		每月	20個	ESD Group
		半年	100%	ESD Group
防靜電工作臺	< 1 x 109歐姆	新安裝	100%	ESD Group
		每月	20個	ESD Group
		半年	100%	ESD Group
防靜電工作椅	< 1 x 109歐姆	新購	100%	ESD Group
		每月	20個	ESD Group
		半年	100%	ESD Group
移動貨架	< 1 x 109歐姆	新購	100%	ESD Group
		每月	20個	ESD Group
		半年	100%	ESD Group
固定貨架	< 1 x 109歐姆	新購	100%	ESD Group
		每月	20個	ESD Group
		半年	100%	ESD Group
手推車	< 1 x 109歐姆	新購	100%	ESD Group
		每月	20個	ESD Group
		半年	100%	ESD Group
接地線	< 1 歐姆	新安裝	100%	ESD Group
		半年	100%	ESD Group
監視報警器	是否正常工作 (檢測方法參考相關指導書)	新安裝	100%	ESD Group
		每週	100%	ESD Group
維修設備 （烙鐵對地阻值）	<=2 Ohm	每天	100%	T/S
離子風靜電消除器	<+/- 50V	年(外校)	100%	ESD Group
防靜電包裝材料	< 1 x 1011歐姆	新購	IQC抽樣檢驗標準	IQC
機器接地電阻	<2Ω	半年	100%	ESD Group
防靜電容器（周轉）	< 1 x 1011歐姆	半年	100%	物品所屬部門

4   靜電敏感區域的工程環境防靜電規範

4.1  防靜電工程環境的要求：

4.1.1    環境的溫度、濕度要求

根據公司環境要求檔對公司內部各個生產區域的溫濕度進行管控，靜電控制環境內應配備溫度計和濕度計，溫度計和濕度計必須放置在垂直固定於牆壁上，並按要求做好點檢記錄。

4.2  地面的技術要求

4.2.1    地板的防靜電要求: 為有效地使人體靜電能通過地板儘快洩漏到大地，除了操作人員穿用防靜電服、防靜電鞋外，其先決條件是地板必須具有一定的導電性能，即是防靜電的。

4.2.2    防靜電地板的靜電特性定期檢查與維護保養:

4.2.3    當地板上附著有絕緣性的油膜、樹脂、橡膠和髒汙時，

4.2.4    清掃防靜電地板時不得使用絕緣性的地板臘。

4.3  防靜電保護接地技術要求:

防靜電系統必須有可靠的接地裝置，主要技術要求如下:

4.3.1    接地線（總地線）：也稱為地線母線。接地主幹線的截面面積應不小於100mm2，支幹線（黃綠雙色）的截面面積應不小於 6mm2設備和工作臺的接地線採用截面面積應不小於 1.25mm2 的黃綠雙色導線。

4.3.2    防靜電設備的連接端子應確保接觸可靠，易裝拆，必須使用插頭座等。

4.3.3    接地電阻：指接地體與大地之間的接觸電阻，靜電保護接地電阻應小於2Ω。

4.3.4    地線的埋設： 埋設地線的原則是埋設地點的土壤電阻係數愈小愈好接地體與土壤的接觸面積要大，接觸密度要高，接觸要緊。

4.3.4.1  地設地線的注意事項：

4.3.4.1.1     接地線與接地線接頭必須焊接牢固，要有足夠的機械強度，引線不要過長。

4.3.4.1.2     要採用耐腐蝕的接地體金屬。

4.3.4.1.3     要保持接地體附近土質的品質，並不斷採取措施防止接地電阻變大。

4.3.4.1.4     防靜電地線必須是永久性的。

4.3.5    .接地線需要定期檢查：

4.3.5.1  接地線需要定期維護：

4.3.5.2  對於檢查不過關的接地線必須採取措施及時解決。

4.3.5.3  確保接地線有效接地。

4.3.5.4  對於生銹的或接觸不好的接地線要及時更換。

4.3.5.5  對於鬆動的接地線要重新連接。

4.3.5.6  按接地線相關規定進行維護。

5   靜電敏感區域的人員防靜電規範

5.1  各類人員的防靜電知識培訓要求及職責：

5.1.1    有可能進入靜電敏感區域的人員或有可能接觸靜電敏感器件的人員都必須接受防靜電知識培訓。這既是對每位員工的基本要求，也是減少靜電危害的根本方法和途徑之一。

5.1.2    所有新員工在接受入廠培訓時，必須接受ESD 知識的培訓。培訓結束後，所有被培訓者需要通過 ESD 的考試，合格者才能上崗。

5.1.3    所有在職人員必須每年接受2次ESD知識再培訓。培訓內容包括介紹 ESD 的新技術，新規範等。

5.1.4    採購部人員必須接受 ESD 基本知識培訓，幫助生產部門採購合格的ESD防護材料。

5.1.5    負責防靜電接地和布生產線的人員，應接受更為專業的ESD 知識培訓。瞭解防靜電接地系統要求並掌握地樁、地線和其他防靜電設施的敷設或安裝。

5.1.6    計量檢定人員也應瞭解 ESD 基本知識，尤其是關於防靜電儀器的校驗知識，要定期校驗防靜電檢測器材，保證其安全、有效，現儀器全部外校，每年 1 次。

5.2  人體靜電防護系統：

5.2.1    防靜電工作服：

防靜電工作服是指為防止靜電荷積累，用防靜電織物作為面料而製成的工作服，樣式有連體式、分體式等。防靜電工作服主要用來泄放人體高絕緣性能的服裝所產生的靜電或減少人體靜電產生。

5.2.1.1  防靜電服使用要求:

5.2.1.1.1     進入防靜電區域的人員必須按規定穿防靜電大褂衣，夾克衣或防靜電連體服，嚴禁穿一般合成纖維工作服。

5.2.1.1.2     防靜電衣必須在更衣室更換，不允許在ESD 區域穿或脫防靜電衣。

5.2.1.1.3     禁止在防靜電衣上附加或佩帶與工作無關的金屬物品或裝飾品。

5.2.1.1.4     不能把非防靜電衣的衣領翻出蓋住防靜電衣的衣領，防靜電衣須將拉鏈拉好，扣子扣好。非不準將防靜電衣的袖子挽起，不準將手錶、手飾等與工作無關的裝飾物品露出防靜電衣外。

5.2.1.1.5     防靜電大褂衣和夾克衣，應保持清潔，工作服的洗滌應儘量採用簡易方法進行， 採用中性洗滌劑要避免受到較強的機械和化學操作的洗滌。

5.2.1.1.6     防靜電服需要檢測，檢測頻率和檢測標準參考表3。

5.2.1.2  防靜電服的檢測：

5.2.1.2.1     檢測項目：表面電阻。

5.2.1.2.2     檢測位置：袖與袖之間。

5.2.1.2.3     檢測儀器：阻抗測試儀。

5.2.2    防靜電帽

5.2.2.1  防靜電帽應正確佩戴，帽沿朝前頭髮不能露出防靜電帽外後腦 部分的短細的頭髮。

5.2.2.2  防靜電帽需要檢測，檢測頻率和檢測標準參考表3。

5.2.2.3  防靜電服的檢測：

5.2.2.3.1     檢測項目：表面電阻

5.2.2.3.2     檢測位置：靜電帽表面

5.2.2.3.3     檢測儀器：阻抗測試儀

5.2.3    防靜電工作鞋：

5.2.3.1  作業人員必須穿防靜電鞋，經過人體綜合電阻測試合格後，方可進入靜電敏感區域工作。

5.2.3.2  防靜電鞋需要檢測，檢測頻率和檢測標準參考表3。

5.2.3.3  防靜電鞋的檢測：

5.2.3.3.1     檢測項目：對地電阻。

5.2.3.3.2     檢測儀器：人體綜合測試儀

5.2.4    防靜電手套或指套：

5.2.4.1  操作員工在接觸靜電敏感材料時，需要戴上防靜電手套或指套。

5.2.4.2  防靜電防靜電手套或指套需要檢測，檢測頻率和檢測標準參考表3。

5.2.4.3  防靜電手套或指套的檢測：

5.2.4.3.1    檢測項目：對地電阻

5.2.4.3.2     檢測儀器：表面阻抗儀

5.2.4.4  防靜電手套或指套較髒或破損時，應及時更換。

5.2.5    防靜電腕帶：

防靜電腕帶是通過腕帶與皮膚的直接接觸和靜電線接地的方式，將人體皮膚表面靜電泄放掉裝置

5.2.6    作業員坐著接觸靜電敏感材料時，需要佩戴防靜電手腕。

5.2.7    防靜電腕帶佩帶方法：將腕帶紮於手腕處，不能鬆動，手腕感覺四周握緊。 保證手腕帶內表面與皮膚良好接觸。

5.2.8    防靜電腕帶接地應採用插孔的連接方式，應避免使用鱷魚夾的接地方式。

5.2.9    防靜電腕帶需要檢測，檢測頻率和檢測標準參考表3。

5.3  臨時或外來人員的防靜電管理：

臨時(外來)人員，包括參觀人員、非本車間聯繫工作人員、臨時施工人員(包括電工、修理工、裝飾工等)，進入防靜電區域時，必須遵守防靜電區域和生產過程的各項防靜電要求。

5.3.1    臨時(外來)人員進入EPA區域，必須有本公司內部經過ESD培訓的人員陪同。不能有違背公司ESD規定的舉動。

5.3.2    臨時施工作業在正常生產時間內要避免暫態高壓、暫態放電的操作(如電焊、啟動電機、開關高壓電源等)或事前採取防範措施，或安排在非生產時間內施工作業。

5.3.3    防靜電區域內需要進行某種維護、修理作業時，維護人員應遵守防靜電區域的有關規定。

6   靜電敏感區域的防靜電操作規範

6.1  所有的靜電敏感器件及其部件的操作必須在靜電安全工作臺上進行。

6.2  貯存和運輸靜電敏感器件及其部件時，應妥善進行防靜電包裝。

6.3  拒絕接受未包裝在防靜電容器裏的靜電敏感器件及其部件。

6.4  所有用非ESD 材料包裝的電子元器件都應在指定的靜電泄放區域，經過拆包和靜電泄放處理後，方可 用防靜電中轉工具將其轉到靜電敏感區域。

6.5  不允許在靜電敏感區域內存放和處理非ESD 的材料，不允許在非靜電敏感區域內存放和處理未包裝的 靜電敏感材料，不允許非 ESD 的材料與靜電敏感材料 混放。

6.6  進入靜電敏感區域的人員，都要必須穿好防靜電工作服，必須戴上防靜電環，腕帶必須與皮膚有良好接觸並將腕帶接入可靠的防靜電接地系統中，防靜電鞋和腳必須與防靜電地板或ESD 地墊保持良好接觸 防靜電帽也必須按規定戴好。

6.7  不得隨意拆除和改變靜電敏感器件及其部件的封裝。

6.8  測試靜電敏感器件時必須遵守加電和去電順序，嚴禁帶電插拔靜電敏感器件。

6.9  操作員工在接觸靜電敏感材料時，需要戴上防靜電手套或指套。

6.10   清潔靜電敏感器件及其部件時，不得使用塑膠刷，必須使用防靜電刷。

6.11   不具備防靜電功能的必備工具和用具，應放在防靜電桌墊上。如果需要加裝離子分機，並將這些工具置於離子風機的作用範圍內。

6.12   靜電敏感材料必須使用防靜電材料盛放和包裝。

6.13   靜電敏感材料初始包裝應在靜電敏感區域內完成，並要用防靜電材料包裝。完成了初始包裝的靜電敏感材料 器件 進行二次包裝時可以在非 ESD 區域內完成，可不採用防靜電材料。

6.14   禁止使用超過有效期的防靜電材料來接觸或包裝 靜電敏感材料 器件。

6.15   在任何場合均不允許未採取防靜電措施的人員接觸 靜電敏感材料及其部件。

6.16   生產過程中使用的設備必須採取接地等防靜電措施。

6.17   生產過程中運輸靜電敏感材料及其部件時，應將其放入防靜電包裝內進行。必要時，應用離子風機來消除在運輸過程中產生的靜電。

6.18   新佈置的生產線或工位等都應進行ESD 認可，只有認可合格後，方可給生產線使用。

6.19   新投入防靜電敏感區域的防靜電材料，包括主料，輔料和包裝材料都應進行ESD 認可，只有認可合格後，方可給生產線使用。

6.20   新投入防靜電敏感區域的防靜電工具等都應進行ESD 認可，只有認可合格後，方可給生產線使用。

7   靜電敏感區域的工作臺、工裝、設備以及防靜電器材的防靜電規範

7.1  基本防靜電要求:防靜電工作區內的各種設備、工具、工裝儀器都應實施靜電防護措施，如接觸元器件的部分應使用防靜電材料(體積電阻<109Ω)。對非防靜電材料(表面電阻>1012Ω)應採用靜電中和或塗抹防靜電塗液、塗層等其他防護措施進行有效的接地(硬接地軟接地)。

7.2 防靜電工作桌的技術要求：

防靜電工作桌是防靜電工作區的主要組成部分，下面所示為標準的防靜電工作臺構成圖:

7.3  靜電敏感區域的工作臺、工裝、設備以及防靜電器材的主要技術要求參考表3。

7.4  工作桌的安裝要求:

7.4.1   按照工作桌面的大小選擇所需的防靜電台墊的尺寸。

7.4.2   從防靜電桌墊正面壓下旋鈕接頭(可用不銹鋼螺釘、螺母、墊片組成的連接點代替)，使其穿過桌墊和箔帶(多層箔帶時應保證全部穿過)，以保證電接觸良好。

7.4.3   將經過以上準備好的防靜電桌墊平整的鋪於工作桌面上。

7.4.4   將工作桌置於防靜電地板上。

7.4.5   防靜電工作桌的接地，使用橫截面不小於 2mm2 的絞合銅芯軟線或電纜把防靜電桌墊串聯1MΩ電阻後連接到地線配置系統上。

7.4.6   全部安裝完畢後，對各參數指標進行檢驗合格後，方可開始使用。

7.5  防靜電工作臺接地要求:

7.5.1   防靜電工作桌的桌墊，串聯 1MΩ+\-10%的電阻接地(即軟接地)。

7.5.2   防靜電工作桌墊和地墊上任意一點與地線配置系統間的電阻為1×106~1×109Ω。

7.5.3   接地電纜應中間無接頭。

7.5.4   多台防靜電工作桌的接地線不能相互串接。

7.5.5   防靜電工作桌上的測試儀器、穩壓電源、電動工具、和電離器等所有外部零件表面、遮罩面均應接地，對地線配置系統電阻值不大於2Ω， 所有接地點應集中接於一點，就近牢固搭接至地線系統上。

7.5.6   對載流接地線，應使用同軸電纜來接地和遮罩。

7.6  防靜電工作桌、貨架靜電皮使用與維護要求:7.5.7   防靜電工作區內的各種設備、儀器、工裝（裝備）、工具都應實施靜電防護措施。例如接觸或靠近靜電敏感器件（靜電敏感材料）的部分應盡可能使用防靜電材料（靜電耗散材料）。

7.6.1   防靜電工作桌、貨架靜電皮在日常使用中，必須確保正常接地狀態。

7.6.2   防靜電工作桌、貨架靜電皮上不允許存放塑膠盒、橡皮、玻璃、白色塑膠袋等易產生靜電的物品圖紙、資料等應放入防靜電文件袋中。

7.6.3   防靜電防靜電手套或指套需要檢測，檢測頻率和檢測標準參考表3。

7.6.4   防靜電工作桌、貨架靜電皮的檢測：

7.6.4.1  檢測項目：表面和對地電阻

7.6.4.2   檢測儀器：表面阻抗儀

7.7  防靜電工作椅：

為全面控制人體靜電，操作者所坐的工作椅必須具有防靜電性能。如果椅腿是非金屬材料或有絕緣套腳時，應將防靜電椅、凳面接地。

7.7.1   防靜電工作椅需要檢測，檢測頻率和檢測標準參考表3。

7.7.2   防靜電工作椅的檢測：

7.7.2.1  檢測項目：表面和對地電阻

7.7.2.2   檢測儀器：表面阻抗儀

在各工位、各工序間用於傳遞和儲存 靜電敏感材料 和單板的各類容器，以及用於產品包裝發貨的容器，都應具備防靜電性能。7.8  防靜電容器(包括周轉箱、元器件存放盒、印製板架等)：

7.8.1   防靜電容器需要檢測，檢測頻率和檢測標準參考表3。

7.8.2   防靜電容器的檢測：

7.8.2.1  檢測項目：表面和對地電阻

7.8.2.2   檢測儀器：表面阻抗儀

7.9  防靜電周轉車、料車：

轉運、暫存靜電敏感材料或含有靜電敏感材料的整、部件產品時，應使用有防靜電性能的周轉車。為保證接地良好，可在車底加裝接地金屬鏈活加裝導電車輪。金屬鏈接觸地面的長度必須超過10cm。

7.9.1   防靜電周轉車、料車需要檢測，檢測頻率和檢測標準參考表3。

7.9.2   防靜電周轉車、料車的檢測：

7.9.2.1  檢測項目：表面和對地電阻

7.9.2.2   檢測儀器：表面阻抗儀

7.10   靜電消除器(離子風機)：

在不能有效泄放靜電的場合，可採用電離器通過電離空氣產生的正負離子，來防止和中和在元器件上及其它物體上的電荷積累。

7.10.1 靜電消除器需要檢測，檢測頻率和檢測標準參考表3。

7.11   落地設備的防靜電技術要求:

7.12   

7.12.2 具有自動傳送帶或滾筒式的流水線，線體應統一接入大地網，並使線體上任一點與大地的接地電阻均小於 2Ω。7.12.1    落地設備如印刷機 、貼片機、回流焊、波峰焊機、流水線等等應採用硬接地，即直接或通過一個低阻抗同防靜電地線相連設備的接地線應採用截面積不小於 1.25mm2的敷塑導線，接地線顏色為黃綠雙色導線。

7.12.3 流水線的自動傳送帶應使用防靜電材料，並通過導線或導體與線體連接。

7.12.4 流水線體上的工裝板應通過靜電導體與線體連接，達到與線體等電位。

7.12.5 自動線體上按作業崗位需要，設置接地點，以便操作者能隨時連接防靜電腕帶。

7.13   工具的防靜電技術要求:

7.13.1 帶有金屬外殼的便攜工具及儀器、設備提供的電源插頭座，應選用安全型。

7.13.2 電烙鐵需要有接地保護措施。

7.13.3 電烙鐵需要檢測，檢測頻率和檢測標準參考表3。

7.13.3.1  檢測項目：對地電阻

7.13.3.2  檢測儀器：萬用表

7.14   工裝的防靜電技術要求：

7.14.2 如果工裝上接觸靜電敏感元器件的部分使用了非防靜電材料(表面電阻>1012Ω)則應該採用靜電中和的方式進行靜電防護。7.14.1 如果工裝使用的如果接觸靜電敏感元器件的部分使用了金屬材料，則注意一定要將工裝進行軟接地(例如放在防靜電墊上接地)。

7.15    公司內部允許使用防靜電液。

8   參考文件

8.1  ESDADV 1.0 靜電放電協會名詞表

8.2  ANSI/ESDS1.1 防靜電手腕帶

8.3  ANSI/ESDSTM2.1 工作服

8.4  ANSIEOS/ESD S3.1 電離化

8.5  ANSIEOS/ESD SP3.3 空氣電離器之定期檢測

8.6  ANSI/ESDS4.1 工作表面-電阻特性

8.7  ANSI/ESDSMT4.2 防靜電工作表面-消電的特性

8.8  ANSIEOS/ESD S6.1接地

8.9  ANSI/ESDS7.1 地板材料-材料特性

8.10   ANSI ESD STM9.1 鞋類-電阻特性

8.11   ANSI/ESD STM97.1 地板材料和鞋類-與人員相組合的電阻測量

8.12   ANSI/ESD STM97.2 地板材料和鞋類-與人員相組合的電壓測量

8.13   ANSI/ESD STM12.1 座椅-電阻測量

8.14   ANSI/ESD S541 靜電放電敏感物體之包裝材料

8.15   ANSI-ESDSTM51-2007

8.16   ANSI-ESDSTM5.2-1999

8.17   ESD TR53 靜電放電保護設備和材料之達標驗證

8.18   ESD SP9.2 鞋類-腳部接地裝置之電阻特性

8.19   ESD——SP5.1.1-2006

8.20   IOSH97-S305

8.21   SP5_3_2-2004

8.22   SP5_1_2-2006

8.23   GBJ1649-1993 電子產品防經典放電控制大綱

8.24   GB1410-2006 固體絕緣材料體積電阻率和表面電阻率實驗方法

8.25   GB12158-2006 防止靜電事故通用導則

8.26   GB/T15463-95 靜電安全名詞術語

8.27   GB4385-1995 防靜電鞋,導電鞋技術要求

8.28   GB12014-89 防靜電工作服

8.29   GB/T12703-1991 紡織品靜電測試方法

8.30   GJB 3007 防靜電工作區技術要求

8.31   GJB/J 5972-2007 非接觸式靜電電壓表校準規範

8.32   GJB 1210-91 接地,搭接和遮罩設計的實施

8.33   GB 50073-2001 潔淨廠房設計規範

8.34   GB 50343-2004 建築物電子資訊系統防雷技術規範

8.35   IEC61340-5-1電子器件靜電現象的防護基本要求

8.36   SJ/T10147-91 積體電路防經典包裝管

8.37   SJ/T10694-2006 電子產品製造與應用系統防靜電檢測通用規範

8.38   SJ/T 11090-96 電子工業用合成纖維防維防靜電綢性能及實驗方法

8.39   SJ/T10796-2001 防靜電活動地板通用規範

8.40   SJ/T11236-2001 防靜電貼面板通用規範

8.41   SJ/T31469-2002 防靜電地面施工及驗收規範

8.42   SJ/T11294-2003 防經典地坪塗料通用規範