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[Semiconductor Equipment] 三星SFM2-C(Smart Component Inspector)简介

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admin实名认证 手机认证 发表于 2015-9-5 18:10:44 | 显示全部楼层 |阅读模式

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% _8 X& L. M. |

- M! A: K7 T, d实现世界最高生产性2 K; N7 B3 Q- u9 `+ A

( M9 L* ^8 u) W* RSFM2-C是每个头部配有4个轴杆的1Gantry前面Access结构,根据高性能线性马达控制器可实现精密触摸识别功能,且通过 0.1N级别的解像度可控制最高达20N的电流力量的倒桩芯片贴片机, 该可实现世界最快时速6,800 UPH。另外,在XY悬臂中适用了精密线性马达控制系统,从而贴装精度高达±8μm @3σ: a* f/ a& F/ a8 W: z( m8 O0 a

+ h+ R7 ?# F  z# k6 L, A5 K■ Max 6,800 UPH (Optimum)
7 M6 T, C8 k/ R2 T9 I9 t, d- `■ 4 Spindles/Head * 1 Gantry   N3 ?3 K: Y# Q
■ Accuracy : ±8μm @3σ
  [- X% k5 J0 _& `■ Die Size : □0.5 ~ 32mm + b3 R( A5 p6 H: N7 j+ q5 V! w- U
■ Wafer Size : 6, 8, 12", L. Y  ?: y$ T
■ Bump Pitch : Min 50μm
# R$ [% [0 U7 _■ Substrate Size : Max 330(L) * 225(W)mm
# t! a  H4 ]. m% b# \, q■ Waffle Tray Feeder (Option)
8 v$ b+ r3 a+ e: L. j! Y! z0 l! f; a4 E5 m
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